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MICROVU 接觸式探針
發(fā)布時間：2021-07-16
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概述
輔助影像測量儀完成一些特殊尺寸的測量，包括：
1.測量高度：利用測量頭可以測量高度的特性來測量工件表面的高度差；
2.測量球體、柱體：利用測量頭的多方向點(diǎn)接觸可測量到影像量不到的位置；
3.測量平面度：利用測量頭可以測量高度和速度快的特性來快速測量工件表面的平面度。
規(guī)格表
多種觸發(fā)力，使測頭性能能夠完全符合測量需求
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模塊 |
SF 標(biāo)準(zhǔn)測力 |
MF 中測力 |
EF 高測力 |
Vertex 261 |
Vertex 341 |
Vertex 342 |
Excel 511 |
Excel 512 |
Excel 701 |
Excel 702 |
Excel 704 |
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TP20-2 |
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TP20-4 |
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TP20-4+ |
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TP20-6 |
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TP20-6+ |
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TP200-2 |
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TP200-4 |
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TP200-4+ |
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TP200-6 |
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TP200-6+ |
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備注：
1. TP20-SF標(biāo)準(zhǔn)測力：XY: 0.08N/Z: 0.75N
TP20-MF中測力：XY: 0.1N/Z: 1.9N
TP20-EF高測力：XY: 0.1N/Z: 3.2N
TP200-SF標(biāo)準(zhǔn)測力：XY: 0.02N/Z: 0.07N
2. 探針精度依照測針尺寸不同而定。
3. TP20和TP200不可同時用于同一置換架。
特色
1. 影像測量系統(tǒng)與接觸式探針系統(tǒng)相結(jié)合，適用于Vertex和Excel系列機(jī)型
2. 多種測頭模塊，滿足各種測量應(yīng)用的需求
3. 多座探針置換架，快速自動更換測頭，無需重新校正
4. InSpec軟件提供直觀的測頭裝配接口，自動測頭校正和探針置換架
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